特許
J-GLOBAL ID：201103051696429585

耐プラズマ部材及びその製造方法

発明者：
松本 秀美

松本 秀美 について

, 
松之迫 等

松之迫 等 について

, 
伊東 裕見子

伊東 裕見子 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051758
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247743
特許番号：特許第3865966号
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ハロゲンガス雰囲気下でプラズマに曝される耐プラズマ部材であって、炭化硼素を主成分とし、焼結助剤として周期律表第4a,5a族元素からなる1種以上の酸化物を5〜15重量%の範囲で含有してなり、焼結体の相対密度が98%以上である炭化硼素質焼結体からなる耐プラズマ部材。
IPC (2件)：
C04B 35/563 ( 200 6.01) ,  H01L 21/683 ( 200 6.01)
FI (2件)：
C04B 35/56 C ,  H01L 21/68 N
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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