特許

J-GLOBAL ID：201103051775116525

薄膜形成装置のシール機構

発明者： 大見 忠弘 ,  柴田 直 ,  梅田 優
出願人/特許権者： 大見 忠弘
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337946
公開番号（公開出願番号）：特開平8-325734
特許番号：特許第2976329号
出願日： 1989年01月11日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 減圧室の内部と外部とを仕切る隔壁に形成された開口部と、該開口部を閉塞する部材との間に介在させるシール部材とを有する薄膜形成装置のシール機構において、前記シール部材は、外周側及び内周側が閉塞された環状の空洞部を有する金属製の第1環状部材と、該第1環状部材の前記空洞部内に挟持されるゴム製の第2環状部材とから成ることを特徴とする薄膜形成装置のシール機構。

IPC (6件)：

C23C 14/56 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 39/06 ZAA

FI (6件)：

C23C 14/56 H ,  C23C 14/00 B ,  C23C 16/44 Z ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 39/06 ZAA