特許

J-GLOBAL ID：201103051790877478

伸長部材を導くシーリング部材及びシーリング部材を備えた真空装置

発明者： ギュイ・ゴバン ,  ゲールト・ドウ・ドンケル ,  アレックス・コルペール ,  ノルベール・バン・ワッセンホーブ ,  ロベール・ホーゲビース ,  ルシアン・フィールマンス ,  ロジェ・ドウ・グリス ,  ヨースト・ベニク
出願人/特許権者： エヌ・ヴイ・ベカルト・エス・エイ
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-294100
公開番号（公開出願番号）：特開平2-213470
特許番号：特許第2918583号
出願日： 1989年11月14日
公開日（公表日）： 1990年08月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ワイヤ、ストリップなどの少なくとも一つの伸長部材が真空装置の壁を通過する時に適用され、少なくとも真空装置の壁内にシール状態で取付けられる管状のケーシングを備え、このケーシングがワイヤの断面積よりも大きな内部断面積を持つシーリング部材において、上記ケーシングは、2もしくはそれ以上の分離可能な部分(2,4)を備え、この部分は少なくともケーシングの長さ部分の一部を一緒になって構成して、自由断面積を維持するようにシール状態で隣接し、この自由断面積がケーシング長さに沿って、伸長部材が通過するのに最小限充分なものであることを特徴とするシーリング部材。

IPC (2件)：

C23C 14/56 ,  F16J 15/16

FI (2件)：

C23C 14/56 C ,  F16J 15/16 D