特許

J-GLOBAL ID：201103051852515101

静圧気体軸受およびそれを用いたステージ装置およびそれを用いた光学装置

発明者： 徳島 忍 ,  大久保 至晴 ,  下田 敏正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 森岡 正樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-555008
特許番号：特許第4144179号
出願日： 1999年06月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】固定部と、前記固定部に沿って移動可能に設けられた可動部とを備え、前記固定部と前記可動部との間の気体層により前記固定部と前記可動部との間を所定の間隔に維持する静圧気体軸受において、 前記可動部は、 前記固定部との間の前記気体層に気体を送り込む気体送り込み部と、 前記気体送り込み部により送り込まれた前記気体を排気するための排気溝とを有し、 前記固定部は、 前記排気溝と対向する位置に設けられた排気口を有すること を特徴とする静圧気体軸受。

IPC (2件)：

F16C 32/06 ( 200 6.01) ,  H01J 37/20 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F16C 32/06 A ,  H01J 37/20 A