特許
J-GLOBAL ID：201103052174682210
電荷測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-298798
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116788
特許番号：特許第3379490号
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 導電板に接続された高抵抗は、電源又は接地のいずれかとスイッチを介し接続され、前記導電板上に絶縁体を介して載置された被測定物と前記被測定物上に配された探針と該探針とは絶縁他を介し接続され前記導電板と略平行な接地板とを有し、前記探針は前記接地板と接続されたクーロンメータ又は前記接地板にスイッチを介して接続されることを特徴とする電荷測定装置。
IPC (4件)：
G01R 29/24
, G01R 1/06
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 29/24 J
, G01R 1/06 F
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 Q
