特許
J-GLOBAL ID：201103052220566106
静電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
碓氷 裕彦
, 加藤 大登
, 伊藤 高順
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-326102
公開番号（公開出願番号）：特開2003-127100
特許番号：特許第3775276号
出願日： 2001年10月24日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に設けられた支持台にアームを介して接続され、基板上の空間に支持された上部構造体と、該上部構造体に対向して基板位置に設けられた下部構造体と、を有し、
前記上部構造体および下部構造体のいずれか一方の構造体に、互いの距離を小さくする傾斜構造が設けられると共に、他方の構造体の平坦面には、前記一方の構造体の該傾斜構造に対応した1つ以上の電極が設けられ、
該電極と、前記傾斜構造を持つ一方の構造体と、の間に電圧が印加されることにより、前記上部構造体が前記下部構造体の側に傾くことを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (4件)：
B81B 3/00 ( 200 6.01)
, B81C 1/00 ( 200 6.01)
, H01L 49/00 ( 200 6.01)
, H02N 1/00 ( 200 6.01)
B81B 3/00
, B81C 1/00
, H01L 49/00 Z
, H02N 1/00
