特許

J-GLOBAL ID：201103052301803510

プロジェクター式測定装置

発明者： 木下 悟志
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-176148
公開番号（公開出願番号）：特開2011-027675
出願日： 2009年07月29日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：

【課題】比較的大きな被測定物に対しても高精度な測定が可能となるプロジェクター式測定装置を提供すること。【解決手段】プロジェクター式測定装置1は、載置台10と、照明部16と、被測定物5を画像として所定倍率で光学的に取得する画像取得部21と、画像取得部21から出力される取得画像データに基づいて投写画像データとして出力して制御する画像制御部31と、光源から射出される光束を、投写画像データに基づいて光変調素子により変調し、投写用光学像に変換して出力する光学変換部51と、投写用光学像を所定倍率で投写する投写光学部52と、投写用光学像が投写されて投写画像を形成すると共に、所定倍率で作成された基本形状図シート6を載置するスクリーン40と、投写画像と基本形状図シート6との変位を変位データとして取得する変位取得部36と、変位データに基づいて変位量を算出する変位量算出部37と、を備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被測定物を載置する載置台と、 前記被測定物を照明する照明部と、 前記被測定物を画像として所定倍率で光学的に取得する画像取得部と、 前記画像取得部から出力される取得画像データに基づいて当該取得画像データを投写画像データとして出力して制御する画像制御部と、 光源および光変調素子を有し、前記光源から射出される光束を、前記画像制御部から出力される前記投写画像データに基づいて前記光変調素子により変調し、前記投写画像データを投写用光学像に変換して出力する光学変換部と、 前記光学変換部から出力された前記投写用光学像を前記所定倍率で投写する投写光学部と、 前記投写用光学像が投写されて投写画像を形成すると共に、前記所定倍率で作成された前記被測定物の基本形状図シートを載置するスクリーンと、 前記スクリーンに形成された前記投写画像と前記スクリーンに載置された前記基本形状図シートとの変位を変位データとして取得する変位取得部と、 前記変位取得部から出力された前記変位データに基づいて変位量を算出する変位量算出部と、 を備えることを特徴とするプロジェクター式測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G03B 21/00 ,  G01B 11/24

FI (3件)：

G01B11/00 Z ,  G03B21/00 D ,  G01B11/24 Z

Fターム (27件)：

2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065EE05 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF67 ,  2F065GG00 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ14 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065MM03 ,  2F065NN02 ,  2F065PP12 ,  2F065RR08 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2K103AA16 ,  2K103AA17 ,  2K103AA22 ,  2K103BB05 ,  2K103BC43 ,  2K103CA54 ,  2K103CA69