配線構造およびその製造方法、並びに配線構造を備えた表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：植木久一 , 植木久彦 , 菅河忠志 , 伊藤浩彰 , 竹岡明美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-168596
公開番号（公開出願番号）：特開2011-049543
出願日： 2010年07月27日
公開日（公表日）： 2011年03月10日
要約：

【課題】基板側から順に、絶縁膜と、Cu合金膜と、薄膜トランジスタの酸化物半導体層と、を備えた配線構造であって、TiやMoなどのバリアメタル層を省略してCu合金膜を、基板および/または絶縁膜と電気的に直接接続しても、これらとの密着性に優れており、しかもCu系材料の特徴である低電気抵抗、並びに酸化物半導体層および/または画素電極を構成する透明導電膜との低いコンタクト抵抗を実現できる新規な表示装置用Cu合金膜を有する配線構造を提供する。【解決手段】本発明の配線構造において、Cu合金膜は、Mn、Ni、Zn、Al、Ti、Mg、Ca、W、およびNbよりなる群から選択される少なくとも1種の元素を含有している。上記Cu合金膜は、基板および/または絶縁性、並びに半導体層と直接接続されている。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基板の上に、基板側から順に、絶縁膜と、Cu合金膜と、薄膜トランジスタの半導体層と、を備えた配線構造であって、前記半導体層は酸化物半導体からなり、前記Cu合金膜は、Mn、Ni、Zn、Al、Ti、Mg、Ca、W、およびNbよりなる群から選択される少なくとも1種の元素を含有し、且つ、前記基板および/または前記絶縁膜、並びに前記半導体層と直接接続されていることを特徴とする配線構造。

IPC (11件)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 21/28 , H01L 21/320 , H01L 23/52 , C22C 9/01 , C22C 9/04 , C22C 9/06 , C22C 9/00 , C22F 1/08 , G02F 1/136

FI (15件)：

H01L29/78 616V , H01L29/78 612C , H01L29/78 618B , H01L29/78 616K , H01L21/28 301R , H01L21/28 301B , H01L21/88 M , C22C9/01 , C22C9/04 , C22C9/06 , C22C9/00 , C22F1/08 B , C22F1/08 N , C22F1/08 P , G02F1/1368

Fターム (82件)：

2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA28 , 2H092JA34 , 2H092JA36 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JA46 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092KA05 , 2H092KA08 , 2H092KA12 , 2H092KA19 , 2H092MA05 , 2H092NA18 , 2H092NA28 , 2H092PA01 , 4M104AA03 , 4M104AA09 , 4M104BB04 , 4M104BB38 , 4M104BB39 , 4M104CC01 , 4M104DD37 , 4M104DD40 , 4M104DD79 , 4M104GG09 , 4M104GG14 , 4M104HH09 , 4M104HH15 , 5F033GG04 , 5F033HH03 , 5F033HH12 , 5F033HH38 , 5F033JJ01 , 5F033JJ38 , 5F033KK12 , 5F033LL02 , 5F033LL09 , 5F033MM14 , 5F033MM15 , 5F033PP15 , 5F033QQ73 , 5F033QQ80 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033WW04 , 5F033XX07 , 5F033XX09 , 5F033XX10 , 5F033XX14 , 5F110AA03 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC03 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110EE06 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF22 , 5F110FF26 , 5F110GG01 , 5F110GG07 , 5F110GG25 , 5F110GG43 , 5F110HK06 , 5F110HK18 , 5F110HK33 , 5F110HK42 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110NN04 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN32 , 5F110NN37

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