特許
J-GLOBAL ID:201103052404338262
超電導素子およびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
,
代理人 (7件):
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
, 河井 将次
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-388158
公開番号(公開出願番号):特開2003-188427
特許番号:特許第3696158号
出願日: 2001年12月20日
公開日(公表日): 2003年07月04日
請求項(抜粋):
【請求項1】基板と、前記基板上に形成された、ジョセフソン接合をなす第1および第2の酸化物超電導層と、前記第1および第2の酸化物超電導層の配線部分間に形成された、下記化学式(1)(Ca1-xSrx)SnyOz (1)(ここで、0≦x≦0.8、0.4≦y≦1.1、1.6≦z≦3.4である)で表される酸化物層間絶縁層とを有することを特徴とする超電導素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 39/22 ZAA A
, H01L 39/24 J
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