特許
J-GLOBAL ID：201103052464994835
ペリクルおよびペリクルの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大石 皓一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-018585
公開番号（公開出願番号）：特開2011-158585
出願日： 2010年01月29日
公開日（公表日）： 2011年08月18日
要約：
【課題】ペリクル膜にシワが発生するなどの不具合が生じることを効果的に防止できるペリクルの製造方法を提供する。【解決手段】一対の長辺と一対の短辺を有し、一対の長辺がそれぞれ直線形状をなし、一対の短辺が、それぞれ、短辺の中央部を含み、外側に対して凸状の円弧形状をなした中央領域と、中央領域の両側に位置し、外側に対して凹状の円弧形状をなした中間領域と、短辺の両端部近傍の直線状をなした端部近傍領域12cを備えたペリクルフレーム10の一方の表面に、ペリクルフレーム10の一対の長辺に沿った方向の張力が、ペリクルフレーム10の一対の短辺に沿った方向の張力よりも大きくなるように、その張力が調整されたペリクル膜20を貼り付け、前記ペリクルフレームの前記一対の短辺を直線形状に変形させるように構成される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
少なくとも一対の長辺と一対の短辺を有し、前記一対の長辺がそれぞれ、直線形状をなし、前記一対の短辺がそれぞれ、中央部が外側へ突出した形状をなしたペリクルフレームの一方の表面に、前記ペリクルフレームの前記一対の長辺に沿った方向の張力が、前記ペリクルフレームの前記一対の短辺に沿った方向の張力よりも大きくなるように、その張力が調整されたペリクル膜が貼り付けられて、前記ペリクルフレームの前記一対の短辺が直線形状をなしていることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2H095BA01
, 2H095BC32
, 2H095BC34
, 2H095BC36
, 3E096BA20
, 3E096BB05
, 3E096CA06
, 3E096CB02
, 3E096DA30
, 3E096DB04
, 3E096DC01
, 3E096EA06X
, 3E096FA08
, 3E096FA31
, 3E096GA04
, 3E096GA20
