特許
J-GLOBAL ID：201103052472534215
試験装置の動作確認方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146882
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338202
特許番号：特許第3484100号
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 順次に送出される設定値群に応じて検査対象物の状態を制御する試験装置を用い、前記検査対象物の状態を示す測定値を検出して前記試験装置の動作を確認する試験装置の動作確認方法であって、順次に送出される前記設定値群に含まれる第1の設定値に基づいて第1の許容範囲を決定し、検出した測定値を前記第1の許容範囲と比較し、少なくとも前記測定値が前記第1の許容範囲を外れる場合には、前記第1の設定値とは異なる時点に現れる第2の設定値に基づいて第2の許容範囲を決定し、前記測定値を前記第2の許容範囲と比較する、ことを特徴とする試験装置の動作確認方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/36 A
, G01R 35/00 L
