希釈冷凍機

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：豊田武久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-120089
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304709
特許番号：特許第3580531号
出願日： 2000年04月20日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】3Heガスを循環させるための真空ポンプと、その真空ポンプにより送出される3Heガスを受入れる希釈冷凍機本体とを有し、前記希釈冷凍機本体は、冷却ヘッドを備えた小型機械式冷凍機と、その小型機械式冷凍機の冷却ヘッドから延長された良熱伝導材料からなる伝熱ブロックと、その伝熱ブロックに熱的に接触しかつ前記真空ポンプから送出された3Heガスを冷却するための主熱交換器と、その主熱交換器により冷却された3Heガスを断熱膨張により3Heガスの凝縮温度以下まで冷却するためのJT膨張器と、4He-3He混合液体を保持しかつ4Heと3Heとの蒸気圧の差により3Heガスが前記真空ポンプの吸気圧により真空ポンプへ向けて吸出される分留器と、前記JT膨張器から導かれた液体3Heが通過してこれを前記分留器内の4He-3He混合液体によりさらに冷却するための分留器熱交換器と、相互に熱交換可能に隔絶された往路側通路および復路路側通路を備えかつ往路側通路に前記分留器熱交換器から導かれた液体3Heが通過して復路側通路の冷熱により往路側通路の液体3Heを0.8K以下の温度に冷却するための往復熱交換器と、底部側が前記往復熱交換器の復路側通路を介して前記分留器の底部側に連通するように作られかつ前記往復熱交換器の往路側通路から液体3Heが導入されるとともに予め液体4Heが収容されるようにした混合室とからなり、前記真空ポンプから送出された3Heガスが、前記主熱交換器を通過する際に冷凍機の冷却ヘッドの冷熱により前記伝熱ブロックを介して所定の低温に冷却され、さらにJT膨張器を通過して凝縮液化され、その液化された液体3Heが往復熱交換器の往路側通路を通って混合室に送り込まれるように構成した希釈冷凍機において; 前記希釈冷凍機本体が、真空断熱された容器の内部に、冷却ヘッド室と、その冷却ヘッド室の底部から下方へ延びる希釈冷凍室とが設けられており、かつ容器内には、その上蓋部分から前記冷却ヘッド室内を通って希釈冷凍室の底部まで延びる中空な有底の内管が設けられており、その内管における上下方向の中間位置の一部は良伝熱材料によって主熱交換器用伝熱部とされ、さらに前記内管はその内側空間が冷却ヘッド室の室内空間および希釈冷凍室の室内空間から気密に隔絶されており、前記冷却ヘッド室内には上方から前記小型機械式冷凍機の冷却ヘッドが挿入されていて、その冷却ヘッドから前記伝熱ブロックが前記内管の伝熱部まで延びており、さらに前記内管内には、全体として棒状をなす希釈冷凍ユニットが上方から挿抜可能に挿入されており、その希釈冷凍ユニットは、前記真空ポンプから送出された3Heガスを受入れる受入口および3Heガスを排出して真空ポンプへ導くための還流口が上端部に形成されるとともに、下端部に試料保持部を伴なった前記混合室が形成され、しかも前記受入口から前記混合室に至る往路側流路および混合室から前記送流口に至る復路側流路とを備え、かつその往路側流路および復路側流路に介在するように主熱交換器、JT膨張器、分留器、分留器熱交換器、および往復熱交換器が一体的に形成された構成とされ、また前記内管の伝熱部とそれに対応する位置の前記希釈冷凍ユニット内の往路側流路との間が熱的に接触されてその部分に前記主熱交換器が形成されることを特徴とする希釈冷凍機。

IPC (1件)：

F25B 9/12

FI (1件)：

F25B 9/12

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-136654
極低温冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-269591 出願人：住友重機械工業株式会社
特開昭62-228842

審査官引用 (3件)

特開平2-136654
極低温冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-269591 出願人：住友重機械工業株式会社
特開昭62-228842

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