特許
J-GLOBAL ID：201103052927139263
るつぼを有する蒸発源組立体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-131263
公開番号（公開出願番号）：特開平2-019459
特許番号：特許第2899310号
出願日： 1989年05月24日
公開日（公表日）： 1990年01月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】るつぼ内に材料を入れるステップと、壁と接する正のメニスカスを有する材料の溶融溜りが形成されるように電子ビームを上記材料へ導き、蒸発した材料が上記メニスカスの上方の壁のある領域で凝結し、上記メニスカスの直上の部分において実質的に凝結しないようにするステップと、メニスカスの接触点を、蒸発した材料が凝結する壁の領域より下であるよう維持するため、溶融溜りに材料を補充するステップとからなるるつぼの壁に沿って正のメニスカスを形成する材料を蒸発させる方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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