形状測定装置および形状測定方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-043509
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241133
特許番号：特許第4075191号
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザ光を対象物に投光し、その反射光を受光して前記対象物の形状を測定する形状測定装置において、前記対象物に投光するレーザ光を偏向させる偏向手段と、前記レーザ光の光軸から離れた位置にて前記偏向手段を回転させることによってレーザ光の偏向角を変える偏向角変更手段を備えていることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：