特許
J-GLOBAL ID：201103053146373240
被処理物への気体供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
名嶋 明郎
, 綿貫 達雄
, 山本 文夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311863
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133155
特許番号：特許第3615100号
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】下面に複数の気体供給口を備えた気体供給室を、被処理物の移動経路の上方に設け、この気体供給室に送り込まれた気体を気体供給口から移動する被処理物の表面に吹き付ける気体供給装置において、複数の丸孔状気体供給口を先端から後端まで列状に並べた気体供給口列を、被処理物の移動方向に対して傾斜させ、かつ複数列を平行に配置するとともに、移動方向からみて気体供給口が相互に部分的に重複するよう設定するとともに、隣り合う前記気体供給口列の位置関係において、ある列の後端の気体供給口と、次に隣り合う列の先端の気体供給口とを被処理物の移動方向からみて部分的に重複する位置に配置し、被処理物の表面に気体の当たる部分と当たらない部分とが縞状に形成されないようにしたことを特徴とする被処理物への気体供給装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F26B 21/00 C
, F26B 17/28 Z
