特許
J-GLOBAL ID：201103053158507447
薄膜製造装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-295890
公開番号（公開出願番号）：特開平3-158465
特許番号：特許第2830207号
出願日： 1989年11月14日
公開日（公表日）： 1991年07月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】長尺基板に接する円筒面を有するキャンと、前記キャンの円筒面の両端に前記キャンに対し電気的に絶縁され着脱自在に設けた端部部材と、前記キャンに前記長尺基板を所定角度巻き付けてキャンの回転に伴って前記長尺基板を走行せしめる走行手段と、前記キャンに巻き付けられた前記長尺基板に向かって微粒子を飛散せしめて前記長尺基板に薄膜を形成せしめる微粒子発生手段と、前記キャンと前記微粒子発生源との間に設置されて、前記微粒子発生源から飛来する微粒子が通過する範囲を制限する開口を有するマスク部材と、前記薄膜が形成された長尺基板の両端部を切断する手段と、少なくとも前記両端部を切断された長尺基板の中央部を巻き取る手段とからなることを特徴とする薄膜製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/56 A
, G11B 5/85 A
