特許
J-GLOBAL ID:201103053237523881

X線複合分析装置、及びX線複合分析方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 戸川 公二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-182815
公開番号(公開出願番号):特開2011-033587
出願日: 2009年08月05日
公開日(公表日): 2011年02月17日
要約:
【課題】 試料の材料分析と内部構造分析とを省力的に短時間で行うことができ、また大型試料にも対応可能で、しかも、持ち運んで屋外で使用することもできる大型試料用のX線複合分析装置、及び当該装置を利用したX線複合分析方法を提供すること。【解決手段】 X線光源に面光源である焦電結晶を用いたX線面状照射器1と;X線を照射する試料Sを配置するための試料セッティング部2と;この試料セッティング部2に対して、前記X線面状照射器1と同じ側、またはX線面状照射器1の反対側に配置され、かつ、X線が照射された試料Sから放出される蛍光X線を検出可能な蛍光X線検出器3と;前記試料セッティング部2に対し前記X線面状照射器1の反対側に配置され、かつ、X線が照射された試料SのX線透過像を撮影可能なX線撮像器4とを含んでX線複合分析装置を構成した。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
X線光源に面光源である焦電結晶を用いたX線面状照射器1と;X線を照射する試料Sを配置するための試料セッティング部2と;この試料セッティング部2に対して、前記X線面状照射器1と同じ側、又はX線面状照射器1の反対側に配置され、かつ、X線が照射された試料Sから放出される蛍光X線を検出可能な蛍光X線検出器3と;前記試料セッティング部2に対して前記X線面状照射器1の反対側に配置され、かつ、X線が照射された試料SのX線透過像を撮影可能なX線撮像器4とを含んで構成され、 前記X線面状照射器1から大型試料SにX線を面状に照射して、前記蛍光X線検出器3による材料分析と前記X線撮像器4による内部構造分析とを同時に実行可能としたことを特徴とするX線複合分析装置。
IPC (2件):
G01N 23/223 ,  G01N 23/04
FI (2件):
G01N23/223 ,  G01N23/04
Fターム (10件):
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001KA01 ,  2G001LA03

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