特許

J-GLOBAL ID：201103053379136184

誘導結合プラズマを発生させるための高周波電源

発明者： ジョンソン、ウェイン・エル ,  ウエスト、レオナルド・ジー
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (3件)： 村松 貞男 ,  橋本 良郎 ,  白根 俊郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-509143
特許番号：特許第4672941号
出願日： 2000年07月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 処理チャンバ内でプラズマを維持させるためにDC電力をRF電磁界に変換させるためのシステムであって、 2つの端部を有し、処理チャンバを巻回するように構成され、およびRF電力をプラズマにカップリングさせるように構成されたコイルと、 DC電源とRF電力出力ターミナルとを有するフリーランニング発振器を有するRF電力発生器とを具備し、前記RF電力出力ターミナルは、前記コイルを含む負荷インピーダンスに接続されており、前記RF電力発生器は、プラズマにカップリングされるRF電力を発生させるために前記コイルにRF電流を供給するように構成され、および、配置されており、また、 前記フリーランニング発振器は、カソード、プレート並びにグリッドを備えた真空管と、このグリッドに接続されたグリッドリーク回路と、前記真空管にカップリングされたフイードバック回路と、前記カソードを加熱するように構成され、および、配置されているDC電力回路とを有し、そして、 前記コイルの少なくとも一部は、前記フイードバック回路の一部を構成するように接続されており、 前記フイードバック回路の一部を形成する前記コイルの一部は、前記コイルの前記端部の少なくとも1つから離れており、 前記RF電力発生器は、前記真空管にカップリングされ、並びに、前記プラズマにカップリングされる前記RF電力を変えるように構成され、および、配置されている制御回路を更に備え、 前記制御回路は、前記真空管のグリッドに制御信号を供給するように構成され、および、配置されている制御信号源を備えている、システム。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ( 200 6.01) ,  C23C 16/507 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01) ,  H05H 1/46 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/302 101 C ,  C23C 16/507 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 R

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 誘導結合プラズマ発生器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-115169   出願人：ザ・パーキン・エルマー・コーポレイション
• 特開昭63-304598
  

審査官引用 (2件)

• 誘導結合プラズマ発生器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-115169   出願人：ザ・パーキン・エルマー・コーポレイション
• 特開昭63-304598