走査型光学顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠原泰司 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-328056
公開番号（公開出願番号）：特開平3-188408
特許番号：特許第2571859号
出願日： 1989年12月18日
公開日（公表日）： 1991年08月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光源と、該光源から発した光を走査する走査光学系と、該走査光学系を射出した光を標本上に集光する対物レンズと、該標本を透過した光を受ける集光レンズ系と該集光レンズ系の集光位置に配置された反射鏡とを有し該反射鏡による1回の反射によって入射経路と同じ経路を通って前記標本に向けて戻す反射光学系と、前記標本上で再び集光してから戻ってきた光を前記対物レンズ及び前記走査光学系を介して受光する光電検出器と、を備えた走査型光学顕微鏡。

IPC (1件)：