特許
J-GLOBAL ID：201103053738641590
マルチビーム光学系
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金井 英幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-239293
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066534
特許番号：特許第3924711号
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】光源と、該光源からの光束を回折させることにより複数本に分岐してそれぞれ異なる角度で射出させる回折分岐素子と、前記回折分岐素子により分岐された光束を伝搬する伝搬光学系と、該伝搬光学系により伝搬された光束を描画面上に収束させて複数のビームスポットを形成する結像光学系とを備えるマルチビーム光学系において、
前記伝搬光学系は、曲面ミラーを含み、
前記曲面ミラーは、前記回折分岐素子により分岐された全ての光束について、前記曲面ミラーに対する入射時の中心軸と曲面ミラーからの反射時の中心軸とが所定の分離角度で空間的に分離されるよう配置され、
前記回折分岐素子は、前記分離角度に依存する前記描画面上での前記ビームスポット列の湾曲を補正するように、前記回折分岐素子の回折格子面に立てた法線方向に対し、前記回折分岐素子に対する入射光の中心軸が傾くよう配置されていることを特徴とするマルチビーム光学系。
IPC (2件)：
G02B 26/10 ( 200 6.01)
, G02B 17/00 ( 200 6.01)
G02B 26/10 D
, G02B 17/00 Z
