特許

J-GLOBAL ID：201103053838985599

研磨パッド

発明者： 高木 正孝
出願人/特許権者： 富士紡ホールディングス株式会社
代理人 (1件)： 五十嵐 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-174632
公開番号（公開出願番号）：特開2011-025373
出願日： 2009年07月27日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：

【課題】発泡形状を安定化させ被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。【解決手段】研磨パッド10は、ウレタン樹脂で形成された発泡シート2を有している。発泡シート2は、湿式成膜法により形成された連続状の発泡構造を有している。発泡シート2には、カーボンブラックのストラクチャー9が凝集した凝集体5が含有されている。凝集体5は、分散剤のABS樹脂で被覆されている。凝集体5は、グラインドゲージ分布図法で測定した分散状態が3.0μm以下に制限されている。凝集体5は、発泡シート2に2重量%〜10重量%の範囲の割合で含有されており、発泡シート2内で、略均一に含有されている。凝集体5が湿式成膜時にさらに凝集した大きな凝集体を形成することがない。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

湿式成膜法により形成されたウレタン樹脂製の発泡シートを備えた研磨パッドにおいて、前記発泡シートには、非晶質炭素の粒子で形成され大きさが3.0μm以下の凝集体が2重量%〜10重量%の範囲の割合で含有されており、前記凝集体は、前記発泡シート内で略均一に分散されていることを特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B37/00 P ,  B24B37/00 L ,  H01L21/304 622F

Fターム (4件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-088229
  
• 研磨布及び研磨布の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-393700   出願人：富士紡績株式会社
• シート状物及びその製造方法、並びにそれを用いてなる内装材及び衣料用資材並びに工業用資材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-019008   出願人：東レ株式会社