特許
J-GLOBAL ID：201103053993420166
スムース排気弁
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
林 宏
, 後藤 正彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-271990
公開番号（公開出願番号）：特開2002-081572
特許番号：特許第3618286号
出願日： 2000年09月07日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】真空チャンバに接続するための第1のポート(3)と、真空ポンプに接続するための第2のポート(4)と、上記第1および第2のポート(3,4)を結ぶ主流路(B)を全開閉する主弁(5)と、上記第1および第2のポート(3,4)を結び上記主流路(B)より開口面積の小さい副流路(A)を制限的に開閉する副弁(36)と、上記主弁(5)に第1のシャフト(10)を介して連結された第1のピストン(9)および圧力流体が供給される主圧力作用室(20)を有し、流体圧による上記第1のピストン(9)の往復動によって上記主弁(5)を駆動させる主弁駆動部と、上記第1のシャフト(10)を上記主弁(5)が閉じる方向に付勢する主弁用弾性部材(23)と、上記副弁(36)に第2のシャフト(38)を介して連結された第2のピストン(37)および上記圧力流体が供給される副圧力作用室(48)を有し、流体圧による上記第2のピストン(37)の往復動によって上記副弁(36)を駆動させる副弁駆動部と、螺回により進退自在の調節棒(60)と上記第2のピストン(37)との間に装填され、上記第2のシャフト(38)を上記副弁(36)が閉じる方向に上記弾性部材(23)より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用調整スプリング(54)と、上記調節棒(60)に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒(60)を移動させて、上記副弁復帰用調整スプリング(54)を変位させ、その弾発力を調節する操作部材(56)と、上記主圧力作用室(20)と上記副圧力作用室(48)とを連通する導通孔(49)と、上記主圧力作用室(20)および上記副圧力作用室(48)に上記圧力流体を導入する操作ポート(21)と、を具備したことを特徴とするスムース排気弁。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16K 31/363
, F16K 51/02 A
