光検出素子、光検出装置及び赤外線検出素子、赤外線検出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：光石俊郎 , 光石忠敬 , 田中康幸 , 松元洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-224994
公開番号（公開出願番号）：特開2011-077165
出願日： 2009年09月29日
公開日（公表日）： 2011年04月14日
要約：

【課題】検出感度が高い光検出素子、光検出装置及び赤外線検出素子、赤外線検出装置を提供する。【解決手段】入射した赤外線IRを他の波長帯域の光に変換すると共に、他の波長帯域に変換された光を検出する赤外線検出素子10において、赤外線検出素子10の受光面に凹凸構造28を設けると共に、受光面以外の赤外線検出素子10の外周面を金属膜24で覆い、凹凸構造28を透過して、素子内部に入射した光を、金属膜24で反射すると共に、金属膜24で反射した光を凹凸構造28で反射し、他の波長帯域に変換された光を金属膜24と凹凸構造28との間で反射し、入射した赤外線IR及び他の波長帯域に変換された光をセル11内部に閉じ込めるようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光を検出する光検出素子において、当該光検出素子の受光面に凹凸構造を設けると共に、前記受光面以外の当該光検出素子の外周面に、当該外周面を覆う金属膜を設け、前記凹凸構造を透過して、当該光検出素子内部に入射した光を、前記金属膜で反射すると共に、前記金属膜で反射した光を前記凹凸構造で反射して、入射した光を当該光検出素子内部に閉じ込めるようにしたことを特徴とする光検出素子。

IPC (3件)：

H01L 31/10 , G01J 1/02 , H01L 31/107

FI (3件)：

H01L31/10 A , G01J1/02 B , H01L31/10 B

Fターム (28件)：

2G065AB02 , 2G065AB04 , 2G065AB05 , 2G065BA09 , 2G065BA34 , 2G065BA40 , 2G065BB11 , 2G065BC11 , 2G065BC28 , 2G065BC35 , 2G065CA08 , 2G065CA15 , 2G065DA08 , 2G065DA18 , 5F049MA01 , 5F049MA07 , 5F049MB07 , 5F049NB07 , 5F049PA03 , 5F049PA14 , 5F049QA06 , 5F049QA16 , 5F049RA02 , 5F049RA07 , 5F049SE05 , 5F049SE16 , 5F049SS10 , 5F049WA01

引用特許：

審査官引用 (6件)

光センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-244387 出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
Siを基本とする光検出器を含む製品
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-011365 出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
光閉込め構造及びそれを用いた受光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-029092 出願人：株式会社日立製作所

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