表示装置およびその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-026914
公開番号（公開出願番号）：特開2011-165884
出願日： 2010年02月09日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：

【課題】ゲート絶縁層内に拡散する汚染元素によってトランジスタ特性が低下するのを防止した薄膜トランジスタを有する表示装置、および、その製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】基板101の上側に積層された半導体層104と、半導体層104の上側に積層されるゲート電極106と半導体層104とゲート電極106との間に積層されるゲート絶縁層105と、ソース電極112およびドレイン電極111と、を含む薄膜トランジスタを有する表示装置であって、ソース電極112およびドレイン電極111の少なくとも一方は、ゲート絶縁層105の上側に形成されて、ゲート絶縁層105に形成されるコンタクトホール109を介して半導体層に接続され、コンタクトホール109の側壁には、窒素化合物を含む側壁膜110が形成される、ことを特徴とする表示装置。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板の上側に積層された半導体層と、前記半導体層の上側に積層されるゲート電極と、前記半導体層と前記ゲート電極との間に積層されるゲート絶縁層と、ソース電極およびドレイン電極と、を含む薄膜トランジスタを有する表示装置であって、前記ソース電極および前記ドレイン電極の少なくとも一方は、前記ゲート絶縁層の上側に形成されて、前記ゲート絶縁層に形成されるコンタクトホールを介して前記半導体層に接続され、前記コンタクトホールの側壁には、窒素化合物を含む側壁膜が形成される、ことを特徴とする表示装置。

IPC (7件)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 29/417 , H01L 21/28 , H01L 23/522 , H01L 21/768 , G02F 1/136

FI (9件)：

H01L29/78 616S , H01L29/78 617U , H01L29/78 619A , H01L29/78 627C , H01L29/50 M , H01L21/28 L , H01L21/28 301R , H01L21/90 D , G02F1/1368

Fターム (86件)：

2H092JA25 , 2H092JA46 , 2H092JB13 , 2H092KA04 , 2H092KA12 , 2H092KA18 , 2H092KB25 , 2H092MA07 , 2H092MA14 , 2H092MA18 , 2H092MA27 , 2H092NA24 , 2H092QA07 , 4M104AA01 , 4M104AA08 , 4M104AA09 , 4M104BB16 , 4M104BB18 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD08 , 4M104DD09 , 4M104DD16 , 4M104DD17 , 4M104EE09 , 4M104FF17 , 4M104FF23 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 5F033HH08 , 5F033HH19 , 5F033HH20 , 5F033JJ01 , 5F033JJ08 , 5F033JJ20 , 5F033KK01 , 5F033MM05 , 5F033MM13 , 5F033NN06 , 5F033NN07 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033QQ90 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033RR08 , 5F033SS11 , 5F033TT02 , 5F033TT07 , 5F033VV15 , 5F110AA14 , 5F110BB01 , 5F110CC02 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE06 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF26 , 5F110FF29 , 5F110FF36 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110HJ01 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL11 , 5F110HL12 , 5F110HL14 , 5F110HL26 , 5F110HM12 , 5F110NN02 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN35

前のページに戻る