特許
J-GLOBAL ID：201103054406915740
プラズマを発生させるための装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148356
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354297
特許番号：特許第4414507号
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 交番電磁界を用いて真空室(3)内にプラズマを発生させるための装置において、1つのロッド状の導体(4)が、絶縁性の材料から成る1つの絶縁管(5)の内部で真空室(3)を貫いて案内されており、該絶縁管(5)の内径が、導体(4)の直径よりも大きく形成されており、絶縁管(5)が少なくとも一方の端部で、真空室(3)の壁(6,7)に保持されていて、該壁(6,7)に対して絶縁管(5)の外面がシールされており、導体(4)が少なくとも一方の端部で、交番電磁界を発生させるための第1の源(8;9)に接続されており、ロッド状の導体(4)の、真空室(3)内に突入して延びる部分の範囲が、螺旋体(2)として成形されており、
該螺旋体のつる巻き角αが10°<α<15°であり、該螺旋体の1つの巻き条の巻き線長さLが、つる巻き直径Dとしたとき
L=(πD)/cos(α)
であって、波長λ0に相当する
ことを特徴とする、プラズマを発生させるための装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H05H 1/46 L
, H05H 1/46 B
