特許
J-GLOBAL ID：201103054416145330
インクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-356506
公開番号（公開出願番号）：特開2001-171107
特許番号：特許第3707324号
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 駆動用基板と、この駆動用基板上にポリイミド層を介して配置されたドライバーICチップと、このドライバーICチップに対向する上記駆動用基板の開口部に配置された圧電体膜と、 この圧電体膜にドライバーICチップからの電圧を印加するためのボンディングワイヤと、 上記圧電体膜の上記ポリイミド層が形成された面と反対側の面側に上記駆動用基板が配置されてなり、上記駆動用基板の上記圧電体膜が配置された側とは反対側にノズル基板が配置されてなり、上記駆動用基板内に形成され、上記駆動用基板と、上記圧電体膜と、上記ノズル基板とに囲まれた圧力発生室であって、上記圧電体膜によって加圧されるインクを入れる上記圧力発生室と、 上記ドライバーICチップの上記圧電体膜と対向する面と上記圧電体膜との間に上記ポリイミド層により設けられた空間であって、上記圧力発生室内のインクを加圧する際に上記圧電体膜の動きを阻害しないための空間と、を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
FI (1件)：
引用特許：
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