特許
J-GLOBAL ID：201103054419351888
レンズ鏡筒及びそれを用いた投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113413
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009980
特許番号：特許第3031375号
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 自重及び/又は支持で光通過面が変形する光学素子,及び該光学素子を支持する複数の凸部を有し、該複数の凸部は、該光学素子の光通過面が、光軸を含む平面に関して対称に変形するように、配置していることを特徴とするレンズ鏡筒。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 7/00 F
, G02B 7/02 A
