特許
J-GLOBAL ID：201103054453262177
Al合金反射膜、反射膜積層体、及び、自動車用灯具、照明具、ならびに、Al合金スパッタリングターゲット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
梶 良之
, 須原 誠
, 竹中 芳通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-134874
公開番号（公開出願番号）：特開2011-021275
出願日： 2010年06月14日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：
【課題】スパッタリング法により成膜された場合に純Al膜よりも高い反射率を有すると共に、優れた耐アルカリ性、耐酸性および耐湿性を有し、これにより、保護被膜なしでも反射率低下が起り難いAl合金反射膜、このようなAl合金反射膜を有する反射膜積層体、及び、自動車用灯具、照明具、ならびに、このようなAl合金反射膜を形成することができるAl合金スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】(1) Sc、Y、La、Gd、Tb、Luの1種以上の元素を合計で0.4〜2.5at%含有し、残部がAlおよび不可避的不純物からなり、原子間力顕微鏡で測定した膜表面の粗さが4nm以下であることを特徴とするAl合金反射膜、(2) この反射膜を有している自動車用灯具、照明具、 (3) この反射膜を形成するためのAl合金スパッタリングターゲット等。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
Sc、Y、La、Gd、Tb、Luの1種以上の元素を合計で0.4〜2.5at%含有し、残部がAlおよび不可避的不純物からなり、原子間力顕微鏡で測定した膜表面の平均粗さRaが4nm以下であることを特徴とするAl合金反射膜。
IPC (6件)：
C23C 14/14
, C23C 14/34
, C22C 21/00
, B22F 3/115
, F21V 7/22
, F21S 8/10
C23C14/14 B
, C23C14/34 A
, C22C21/00 N
, B22F3/115
, F21V7/22 210
, F21S8/10 182
, F21S8/10 381
3K243AA08
, 3K243AB02
, 4K018AA15
, 4K018EA60
, 4K018KA29
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA23
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029BD09
, 4K029CA05
, 4K029CA12
, 4K029DC04
, 4K029DC07
, 4K029DC15
, 4K029DC34
