特許

J-GLOBAL ID：201103054485478392

共焦点顕微鏡

発明者： 西山 陽二 ,  酒井 覚
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 横山 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-249612
公開番号（公開出願番号）：特開2011-095512
出願日： 2009年10月30日
公開日（公表日）： 2011年05月12日
要約：

【課題】観察する試料物体の表面の高さ情報(凹凸値など)を得るのに、従来に比べ、容易かつ安価に構成可能な共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明の共焦点顕微鏡は、ピンホールを有する、少なくとも3種類の、夫々に異なる光波長遮断特性を有する薄膜波長フィルタによって積層形成されたピンホールディスクを用い、前記各波長における焦点面と物体表面とのずれによって生じる、各波長での表面像光強度の変化を、表面の高さ変化に換算して予め取得し、更に、これを検出強度正規化処理を行うなどして、測定対象物体の表面の凹凸を測定する。これによってレンズのメカニカル移動を不要として測定スピードの向上や測定システムの簡略化を実現し、また高価な光学素子などの利用を不要とする。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

試料を照射する光源と、 前記光源と前記試料間に配置された複数のピンホールを有するピンホール基板と、 前記ピンホール基板を回転させる回転手段と、 前記ピンホール基板と前記試料との間に対物レンズを備え、 前記ピンホール基板を回転して光走査を行い前記ピンホール基板上に前記試料の表面像が生成され、前記ピンホール透過した前記表面像が第1の検出器上に投影されるように構成されており、 前記ピンホール基板は、少なくとも3層の、光波長フィルタ特性が互いに異なる複数の薄膜積層部を有することを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (1件)：

G02B 21/00

FI (1件)：

G02B21/00

Fターム (10件)：

2H052AA08 ,  2H052AB01 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC18 ,  2H052AC27 ,  2H052AD31 ,  2H052AD34 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14