振動片、振動子、発振器、および電子機器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 須澤修 , 宮坂一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-109934
公開番号（公開出願番号）：特開2011-239256
出願日： 2010年05月12日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：

【課題】振動アームの反りを抑制した振動片、それを用いた振動子および発振器、あるいはそれを用いた電子機器を提供する。【解決手段】振動片1は、Zカット水晶板を加工して形成された基部16と、基部16の一端側から平行に延出する三本の振動アーム18a,18b,18cとを有している。各振動アーム18a,18b,18cの第1表面12には、第1電極層20、第1圧電体層22、および第2電極層26が、この順に積層された励振電極としての第1の積層体が形成されている。また、振動アーム18a,18b,18cの第2表面10上には、電気的に独立した金属層5と、第2圧電体層7とが、この順に積層された第2の積層体が設けられている。第1電極層20には、例えば、Pt、Ti、あるいはTi-Au合金などを用いることができる。また、金属層5には、例えば、Al、Cr、あるいはNiなどを用いることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基部と、前記基部の一端部から延出された振動アームと、前記振動アームの第1表面に形成された駆動電極と、を有し、前記駆動電極は、前記第1表面に形成された第1電極層と、前記第1電極層上に設けられた第1圧電体層と、前記第1圧電体層を挟んで前記第1電極層に対向して設けられた第2電極層と、を含む第1の積層体であり、前記第1表面と表裏関係にある第2表面に、電気的に独立した金属層と、前記金属層上に設けられた第2圧電体層と、を含む第2の積層体が形成されていることを特徴とする振動片。

IPC (6件)：

H03H 9/19 , H03H 9/02 , H03B 5/32 , H01L 41/18 , H01L 41/09 , H01L 41/187

FI (8件)：

H03H9/19 K , H03H9/02 K , H03H9/19 L , H03B5/32 H , H01L41/18 101A , H01L41/08 C , H01L41/18 101D , H01L41/18 101B

Fターム (25件)：

5J079AA02 , 5J079AA04 , 5J079BA02 , 5J079BA39 , 5J079BA43 , 5J079BA44 , 5J079FA01 , 5J079HA03 , 5J079HA06 , 5J079HA09 , 5J079HA16 , 5J079HA22 , 5J079HA25 , 5J079HA29 , 5J108BB02 , 5J108CC06 , 5J108DD05 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108EE18 , 5J108FF11 , 5J108GG03 , 5J108KK01

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