特許

J-GLOBAL ID：201103054813472321

β型炭化珪素粉末含有組成物、その製造方法及び用途

発明者： 光永 敏勝 ,  山崎 義照 ,  原 裕幸 ,  鶴田 和義
出願人/特許権者： 電気化学工業株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248405
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072407
特許番号：特許第3957432号
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 β型炭化珪素粉末60〜75重量%と、珪素酸化物粉末15〜22重量%と、カーボン粉末10〜20重量%とを含有する比表面積が205〜356m2/gの粉末からなり、β型炭化珪素粉末が、平均真円度0.87〜0.95、比表面積88〜148m2/g、平均粒子径0.03〜0.06μmであることを特徴とするβ型炭化珪素粉末含有組成物。

IPC (5件)：

C01B 31/36 ( 200 6.01) ,  B24B 57/02 ( 200 6.01) ,  C09C 1/68 ( 200 6.01) ,  C09K 3/14 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (6件)：

C01B 31/36 601 Y ,  C01B 31/36 601 H ,  B24B 57/02 ,  C09C 1/68 ,  C09K 3/14 550 D ,  H01L 21/304 622 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-114865
  
• 金属炭化物粉末の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-355900   出願人：日亜化学工業株式会社
• 特開平4-149017
  

審査官引用 (4件)

• 金属炭化物粉末の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-355900   出願人：日亜化学工業株式会社
• 特開昭63-114865
  
• 特開平4-149017
  
• 特開昭63-114865
  

引用文献：

出願人引用 (1件)

• Synthesis of ultrafine β-SiC particles from SiOx(x=0,1,2) powders and C2H2

審査官引用 (1件)

• Synthesis of ultrafine β-SiC particles from SiOx(x=0,1,2) powders and C2H2