圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊藤洋二 , 三浦高広 , 水野史博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128260
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304999
特許番号：特許第3591425号
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生する検出部(20)を、耐薬品性を有する保護部材(51、52)で被覆して保護するようにした圧力センサにおいて、前記保護部材は、耐薬品性を有する母材に対しこの母材よりもガラス転移温度の低い材料を混合させることにより、前記保護部材全体のガラス転移温度が前記母材のガラス転移温度よりも低下させられたものより構成されており、前記母材は、フッ素系のゲル材料もしくはフッ素系のゴム材料であり、前記母材よりもガラス転移温度の低い材料は、フッ素系のオイルであることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：