音響センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中野雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-038294
公開番号（公開出願番号）：特開2011-176534
出願日： 2010年02月24日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：

【課題】音響検知部と振動検知部との間における機械的振動の伝達効率を向上させることによって音響センサのノイズ除去効果を高めることにある。【解決手段】シリコン基板28に、表裏に貫通する縦孔部31aと水平に伸びた横孔部31bからなるバックチャンバ31を形成する。縦孔部31aの上端はシリコン基板28の上面で開口し、横孔部31bの先端はシリコン基板28によって塞がれている。シリコン基板28の上面には、縦孔部31aの上面開口を覆うように形成された振動電極板33aと振動電極板33aに対向する固定電極板34aによって音響検知部29を作製する。音響検知部29の固定電極板34aには、音響振動を通過させるための音響孔43aを開口する。また、横孔部31bの上方において、シリコン基板28の上面に、振動電極板33bと振動電極板33bに対向する固定電極板34bによって振動検知部30を作製する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

一枚の基板に、音響振動及び機械的振動を感知して電気信号を出力する第1のトランスデューサと、機械的振動のみを感知して電気信号を出力する第2のトランスデューサとを設けた音響センサであって、前記第1のトランスデューサは、前記基板内に形成されたバックチャンバと、前記バックチャンバの上面開口を覆うようにして前記基板の表面に設けた第1の振動電極板と、前記第1の振動電極板に対向し且つ音響孔を開口された第1の固定電極板とを有し、前記第1の振動電極板の変位による前記第1の振動電極板と前記第1の固定電極板の間の静電容量の変化に基づいて電気信号を出力するものであり、前記第2のトランスデューサは、前記基板の表面に設けた第2の振動電極板と、前記第2の振動電極板に対向した第2の固定電極板とを有し、前記第2の振動電極板の変位による前記第2の振動電極板と前記第2の固定電極板の間の静電容量の変化に基づいて電気信号を出力するものであり、前記バックチャンバは、その一端が前記第1の振動電極板に対向して前記基板の上面で開口し、かつ、前記基板の上面に沿った方向へ伸びた部分を備えていることを特徴とする音響センサ。

IPC (5件)：

H04R 19/04 , H04R 1/02 , H01L 29/84 , B81B 3/00 , H04R 3/00

FI (5件)：

H04R19/04 , H04R1/02 106 , H01L29/84 Z , B81B3/00 , H04R3/00 320

Fターム (37件)：

3C081AA13 , 3C081BA03 , 3C081BA30 , 3C081BA45 , 3C081BA48 , 3C081BA76 , 3C081BA77 , 3C081EA01 , 3C081EA21 , 4M112AA06 , 4M112BA07 , 4M112CA01 , 4M112CA02 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA05 , 4M112CA06 , 4M112CA11 , 4M112CA13 , 4M112CA14 , 4M112CA15 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA11 , 4M112DA15 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA11 , 4M112FA01 , 4M112FA20 , 4M112GA01 , 4M112GA03 , 5D017BC16 , 5D020BB09 , 5D021CC19

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