特許
J-GLOBAL ID：201103055015090572
試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華 明裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-312543
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124553
特許番号：特許第3696495号
出願日： 2000年10月12日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】電子デバイスを試験する試験装置であって、前記電子デバイスに照射する照射光を生成する光源と、前記照射光を集光させ、前記電子デバイスの試験されるべき領域である被照射領域に照射する集光部と、前記電子デバイスに試験パターンを入力する入力部と、前記試験パターンに基づいて前記電子デバイスが出力すべき期待値信号に対する、前記照射光が前記電子デバイスに照射された場合に、前記試験パターンに基づいて前記電子デバイスが出力する出力信号の遅延量に基づいて、前記電子デバイスの、前記照射光が照射された前記被照射領域の良否を判定する判定部とを備えることを特徴とする試験装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 C
, G01R 31/28 L
