特許
J-GLOBAL ID：201103055046297795
基板冷却装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤村 元彦
, 藤巻 正憲
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-286616
公開番号（公開出願番号）：特開2002-097032
特許番号：特許第3638119号
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】プレート内に冷却水を導入し、プレートの被冷却物搭載部を冷却して被冷却物を被冷却物搭載部に接触させることにより被冷却物の冷却を行う冷却プレートと、被冷却物が被冷却物搭載部に接触する前後にそれぞれ被冷却物を被冷却物搭載部に搬送、被冷却物搭載部から搬出する搬送ローラーと、被冷却物を被冷却物搭載部に接触させるべく被冷却物を被冷却物搭載部に押圧する吸着部とを備える基板冷却装置であって、前記冷却プレートは、少なくともその長さ方向の端部の表面に被冷却物の冷却速度を緩和する冷却緩衝材が貼付されていることを特徴とする基板冷却装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C03B 25/08
, H01L 21/68 A
, H01L 21/68 P
