特許
J-GLOBAL ID:201103055200656876

超電導装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 早川 政名
公報種別:特許公告
出願番号(国際出願番号):特願平1-150086
公開番号(公開出願番号):特開平3-012941
出願日: 1989年06月12日
公開日(公表日): 1991年01月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】超電動素子の電極をNb層で形成し、該Nb層と外部リードとを超電導性を有する接続材料で接続せしめる超電導装置において、前記Nb層上にAu極薄膜からなるパッドを形成して該パッドに接続材料を接続せしめ、前記パッドの厚さが5〜 200nmである超電導装置。
IPC (4件):
H01L 21/60 301 P 6918-4M ,  H01L 21/321 ,  H01L 39/02 ZAA Z 9276-4M ,  H01R 4/68 ZAA 7371-5E
FI (1件):
H01L 21/92 ZAA C 9168-4M

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