処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-089354
公開番号（公開出願番号）：特開平2-267930
特許番号：特許第2611423号
出願日： 1989年04月07日
公開日（公表日）： 1990年11月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】マスク合わせマークをダイシングライン上に配置するためのデータ処理を行なう処理装置において、入力されたチップサイズ値に基づいて、予め登録した配置ルール及びダイシングライン生成ルール情報に従って、マスク合わせマークの位置座標とマーク周辺のダイシングラインを多角形に分割する頂点座標とを算出する算出手段と、この算出手段により算出されたマスク合わせマークの位置座標と予め登録されたマークセルライブラリ内の情報とからマークデータ配置を行なう配置手段と、前記算出手段により算出されたマーク周辺の頂点座標と前記ダイシングライン生成ルール情報とからダイシングラインを生成する生成手段と、前記配置手段のデータと前記生成手段のデータより、マークが配置されたダイシングラインレイアウトデータ及びマーク座標を出力する出力手段とを備えたことを特徴とする処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H01L 21/301

FI (2件)：

H01L 21/30 502 M , H01L 21/78 L

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