光ディスク貼り合わせ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：園田敏雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-011558
公開番号（公開出願番号）：特開2000-215524
特許番号：特許第3643493号
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】センター穴を有する信号記録基板と保護基板とを光硬化樹脂によって接着する工程において、光照射時に減圧吸着を行うステージ上にディスク保持部材が設置してあり、上記ディスク保持部材が発泡質ポリマーであり、上記ディスク保持部材がディスクのクランプ透明部の下とスパッタ部の下とでは別の素材からなっており、内側の素材は外側の素材よりも融点が高いことを特徴とする光ディスク貼り合わせ装置。

IPC (1件)：