特許
J-GLOBAL ID：201103055419515356
合成石英ガラスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小島 隆司
, 西川 裕子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113672
公開番号（公開出願番号）：特開2000-302459
特許番号：特許第3796561号
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 合成石英ガラス製造用チャンバー内に加熱源から供給された高温ガスを流通させて形成された高温ガス域を形成し、この高温ガス域内に石英ガラス形成原料を供給して、この石英ガラス形成原料から石英スートを生成させ、これを石英インゴットに堆積、成長させ、このスートから合成石英ガラスを製造する方法において、上記高温ガス流の照射角度をインゴットの軸方向に対して0〜70°の範囲にすると共に、上記高温ガス域周辺に浮遊スートの排出方向に沿って整流した浮遊スート排出用気体を、この整流した浮遊スート排出用気体の流通方向が上記高温ガス域周辺において上記高温ガス流の流通の方向に対して±15°以内となるように流通させることを特徴とする合成石英ガラスの製造方法。
IPC (3件)：
C03B 8/04 ( 200 6.01)
, C03B 20/00 ( 200 6.01)
, C03C 3/06 ( 200 6.01)
C03B 8/04 H
, C03B 20/00 Z
, C03C 3/06
