特許
J-GLOBAL ID：201103055566161969
基盤クリーニング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
東島 隆治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-089755
公開番号（公開出願番号）：特開2000-285637
特許番号：特許第3529662号
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 円形の基盤の表面に円形の中心から外周に向かって円弧状に形成された凸部の曲率半径と実質的に等しい半径を有する円盤状のクリーニング部材、前記クリーニング部材を回転させるクリーニング部材回転手段、及び前記基盤を前記中心を回転軸として回転させる基盤回転手段を備え、前記クリーニング部材の回転軸を前記基盤の回転軸に対して一定のねじれの関係となるよう傾斜させ、かつ前記クリーニング部材の回転中心を前記基盤の表面に形成された前記凸部の円弧の中心に実質的に位置させて、前記クリーニング部材の外周の一部を前記基盤に近接あるいは接触させて回転させることを特徴とする基盤クリーニング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 23/50 C
, G11B 5/84 Z
