特許

J-GLOBAL ID：201103055594341174

被処理材搬送用ベルト及びそれを使用した表面処理装置

発明者： 三原 一夫
出願人/特許権者： 山口日本電気株式会社
代理人 (1件)： 畑 泰之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-277050
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107299
特許番号：特許第3317938号
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 搬送用ベルト本体の上端部に適宜間隔で配置された給電治具を備えたことを特徴とする被処理材搬送用ベルト。

IPC (2件)：

C25D 21/12 ,  H01L 23/50

FI (2件)：

C25D 21/12 L ,  H01L 23/50 D