特許
J-GLOBAL ID：201103055854294353
対向平面平行度測定方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-293145
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174239
特許番号：特許第3457918号
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 対向配置されて一方が固定側、他方が前記固定側に対して対向方向にほぼ沿った回転軸を中心として回転する一対の被測定面に、基準平面を介してそれぞれ平行光を照射し、各被測定面及び基準平面からの反射光が干渉することによって得られた干渉像をそれぞれ個別に観測することにより、前記一対の被測定面の平行度を測定する対向平面平行度測定方法であって、前記固定側である一方の被測定面の干渉像から当該被測定面の傾きを測定すると共に、得られた傾きから前記一方の被測定面の法面ベクトルを求めるステップと、前記回転する他方の被測定面の干渉像から当該被測定面の傾きを、第1の位置と、この第1の位置から前記回転軸を中心として所定角度回転させた第2の位置とでそれぞれ測定するステップと、前記回転する他方の被測定面の第1及び第2の位置での傾きから、当該被測定面の法面ベクトルが描く円錐を推定するステップと、前記一方の被測定面の法面ベクトルと前記他方の被測定面の法線ベクトルが描く円錐の軸及び頂角とから前記一対の被測定面のなす最大角度及び最小角度の少なくとも一方を求めるステップとを有することを特徴とする対向平面平行度測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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