特許
J-GLOBAL ID：201103055859043359
露光装置の監視方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-050087
公開番号（公開出願番号）：特開平2-230711
特許番号：特許第2686637号
出願日： 1989年03月03日
公開日（公表日）： 1990年09月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】原板と前記原板のパターンが露光により焼付けられる基板の一方を保持して移動するステージと、前記ステージの移動を制御するために前記ステージの位置を計測する位置計測器と、前記ステージの移動を前記位置計測器の計測値に基づいて制御しながら前記原板のパターンを前記基板上に焼付けるための露光シーケンスを有する露光装置の監視方法において、前記露光シーケンスと並列に実行される監視シーケンスを有し、前記監視シーケンスは前記露光シーケンスに応じて前記ステージが位置決めされた後の前記ステージの位置を前記位置計測器を介して計測するステップと、前記位置計測器を介した前記ステージの位置計測値が正常か異常かを判定するステップと、前記位置計測値が正常の場合には前記位置計測値を記憶手段に記憶させるステップと、前記位置計測値が異常の場合には前記露光シーケンス側に異常があったことを通知するステップを有し、前記露光シーケンスは前記監視シーケンス側から異常の通知があった際には以降のシーケンスを続行するか否かを判断する判断ステップを有することを特徴とする露光装置の監視方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 502 G
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 516 B
, H01L 21/30 525 E
