特許
J-GLOBAL ID:201103055888648561
固体メモリ、データ処理システム及びデータ処理装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鷲頭 光宏
, 緒方 和文
, 黒瀬 泰之
, 三谷 拓也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-140592
公開番号(公開出願番号):特開2010-287744
出願日: 2009年06月11日
公開日(公表日): 2010年12月24日
要約:
【課題】抵抗値のばらつきが防止された固体メモリを提供する。【解決手段】互いに組成の異なる結晶層1,2を含む複数の結晶層が積層されてなる超格子積層体SLと、超格子積層体SLの積層方向における一方の面SLaに設けられた下部電極3と、超格子積層体SLの積層方向における他方の面SLbに設けられた上部電極4とを備える。超格子積層体SLに含まれる結晶層1は相変化化合物からなる。本発明によれば、電極3,4間にこれらの対向方向に積層された超格子積層体SLが挟み込まれていることから、電極3,4を介して超格子積層体SLに電気的エネルギーを印加した場合、超格子積層体SLの積層面に対して均一な電気的エネルギーが印加される。このため、情報の書き換えを繰り返しても抵抗値のばらつきが少なく、その結果、安定したデータ読み出しを行うことが可能となる。【選択図】図3
請求項(抜粋):
互いに対向する第1及び第2の電極と、
前記第1及び第2の電極に挟まれ、互いに組成の異なる第1及び第2の結晶層を含む複数の結晶層が積層されてなる超格子積層体と、を備え
前記超格子積層体の少なくとも一部は、前記第1及び第2の結晶層の積層面が前記第1及び第2の電極の対向方向と交差しており、
前記超格子積層体に含まれる前記第1の結晶層は、相変化化合物からなることを特徴とする固体メモリ。
IPC (3件):
H01L 27/10
, G11C 13/00
, H01L 45/00
FI (3件):
H01L27/10 451
, G11C13/00 A
, H01L45/00 A
Fターム (15件):
5F083FZ10
, 5F083JA05
, 5F083JA35
, 5F083JA36
, 5F083JA39
, 5F083JA40
, 5F083JA56
, 5F083MA06
, 5F083MA16
, 5F083NA01
, 5F083PR21
, 5F083PR36
, 5F083PR39
, 5F083PR40
, 5F083ZA10
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