特許

J-GLOBAL ID：201103056232992378

感光性樹脂組成物並びにこれを用いた感光性フィルム及び永久レジスト

発明者： 板垣 秀一 ,  藤井 徹文 ,  村上 泰治
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (2件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-033772
公開番号（公開出願番号）：特開2011-170098
出願日： 2010年02月18日
公開日（公表日）： 2011年09月01日
要約：

【課題】高感度及び優れたアルカリ現像性を両立可能な感光性樹脂組成物並びにこれを用いた感光性フィルム及び永久レジストを提供すること。【解決手段】(A)バインダーポリマーと、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)亜リン酸エステル化合物と、を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマーと、 (B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、 (C)光重合開始剤と、 (D)亜リン酸エステル化合物と、を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/029 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/28

FI (5件)：

G03F7/029 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/033 ,  G03F7/004 501 ,  H05K3/28 D

Fターム (26件)：

2H125AC33 ,  2H125AC34 ,  2H125AC63 ,  2H125AD02 ,  2H125AE08P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AN79P ,  2H125AN81P ,  2H125AP09P ,  2H125BA09P ,  2H125BA11P ,  2H125CA13 ,  2H125CB04 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  5E314AA27 ,  5E314AA33 ,  5E314AA34 ,  5E314BB02 ,  5E314BB11 ,  5E314CC15 ,  5E314DD07 ,  5E314FF01 ,  5E314GG17 ,  5E314GG24