特許

J-GLOBAL ID：201103056327789553

光半導体素子の検査装置

発明者： 米川 昭治 ,  川田 浩示
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-133717
公開番号（公開出願番号）：特開2001-318027
特許番号：特許第3553855号
出願日： 2000年05月02日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光半導体素子の基準表面側で、光学的特性を検査するための光半導体素子の検査装置において、予め定める検査面を基準に、光半導体素子の光学的特性を検査するための検査素子が配置される検査箱と、該検査箱と位置合わせして用いる光半導体素子の搬送機構であって、光半導体素子の基準表面を押付けるための基準面を備え、該基準面に光半導体素子の基準表面を押付けた状態で該光半導体素子を保持しながら該検査箱に対して予め定める位置に移動することによって、該検査箱の検査面に該基準面を一致させることが可能な搬送機構とを含むことを特徴とする光半導体素子の検査装置。

IPC (4件)：

G01M 11/00 ,  G01J 1/00 ,  H01L 31/10 ,  H01L 33/00

FI (4件)：

G01M 11/00 T ,  G01J 1/00 A ,  H01L 33/00 K ,  H01L 31/10 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-070586
  
• 半導体装置の検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-064690   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-259865