特許

J-GLOBAL ID：201103056405419539

光偏向器及びこれを用いた光学装置

発明者： 谷 雅直
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
代理人 (1件)： 五十嵐 省三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-009844
公開番号（公開出願番号）：特開2011-150055
出願日： 2010年01月20日
公開日（公表日）： 2011年08月04日
要約：

【課題】従来の光偏向器においては、ミラーの角度検出センサとしての圧電センサがミラーの側辺に固定されていたために、ミラーに分散する応力が比較的大きくてミラーの変形を招き、他方、圧電センサに分散する応力は比較的小さく、従って、圧電センサの変位量は小さく、圧電センサの圧電起電力は小さかった。【解決手段】ミラー2は円形反射面を有し、支持体1の空洞部1a内に位置する。1対のトーションバー3、4はミラー2を揺動可能に支持する。トーションバー3に作用する圧電アクチュエータ5、6を設け、トーションバー4に作用する圧電アクチュエータ7、8を設ける。半環状の圧電センサ9、10はミラー2の外周側にスリットを介してトーションバー3、4のミラー2側付け根に連結される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

空洞部が形成された支持体と、 該支持体の空洞部内に位置する反射面を有するミラーと、 基端が前記支持体に連結され先端が前記ミラーに連結された弾性梁と、 基端が前記支持体に連結され先端が前記弾性梁に連結されたアクチュエータと、 前記弾性梁に連結されかつ前記ミラーの外周側にスリットを介して位置し前記ミラーの角度を検出するための圧電センサと を具備し、 前記アクチュエータは前記ミラー及び前記圧電センサを前記弾性梁を介して同一方向に回転振動させる光偏向器。

IPC (4件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/113

FI (4件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  H04N1/04 104Z

Fターム (36件)：

2H045AB06 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045AB81 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC09 ,  2H141MD12 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MF05 ,  2H141MG06 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ13 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ26 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA55 ,  3C081BA76 ,  3C081CA02 ,  3C081CA13 ,  3C081CA15 ,  3C081CA27 ,  3C081CA28 ,  3C081DA04 ,  3C081EA08 ,  5C072BA20 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072HB06 ,  5C072HB15 ,  5C072XA05 ,  5C072XA10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光偏向器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-010060   出願人：スタンレー電気株式会社
• アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-139605   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 光学反射素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-106502   出願人：パナソニック株式会社