特許
J-GLOBAL ID：201103056495005312
トリウム含有タングステン熱陰極直流放電電極及び前記電極の改質方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
小栗 昌平
, 高松 猛
, 萩野 平
, 添田 全一
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 濱田 百合子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222659
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052892
特許番号：特許第3558209号
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】直流プラズマ生成装置に使用されるトリウム含有タングステン熱陰極直流放電電極において、トリウム含有タングステン材をヘキサメチルジシランと水素との混合雰囲気中で放電処理した後、真空下で加熱してなることを特徴とするトリウム含有タングステン熱陰極直流放電電極。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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