特許
J-GLOBAL ID:201103056530662577

部分めっき装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 啓三
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-128375
公開番号(公開出願番号):特開2001-303297
特許番号:特許第3553461号
出願日: 2000年04月27日
公開日(公表日): 2001年10月31日
請求項(抜粋):
【請求項1】TABテープのめっき領域に対応するように開口された開口部を有し、水平に設けられたマスクと、前記TABテープを前記マスクに向かって降ろす昇降手段と、前記TABテープを前記マスクに上から押し当てる押圧手段とを備え、前記開口部の下方から該開口部に向かってめっき液を噴射し、前記めっき領域にめっきを施すことを特徴とする部分めっき装置。
IPC (5件):
C25D 17/00 ,  C25D 5/02 ,  C25D 7/12 ,  H01L 21/60 ,  H05K 3/18
FI (5件):
C25D 17/00 J ,  C25D 5/02 C ,  C25D 7/12 ,  H01L 21/60 311 W ,  H05K 3/18 L

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