特許
J-GLOBAL ID:201103056680662273
プラズマディスプレイ表示装置の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-014132
公開番号(公開出願番号):特開2002-216618
特許番号:特許第3409789号
出願日: 2001年01月23日
公開日(公表日): 2002年08月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 主隔壁と当該主隔壁より高さの低い補助隔壁を有するプラズマディスプレイ表示装置の製造方法であって、溶剤及び感光性材料を含むペーストを基板上に塗布して塗布膜を形成する第1工程と、前記主隔壁のパターンを含む第1フォトマスクを介して、前記塗布膜に露光光を照射する第2工程と、前記塗布膜を乾燥する第3工程と、前記補助隔壁のパターンを含む第2フォトマスクを介して、前記塗布膜に露光光を照射する第4工程と、前記塗布膜を現像した後焼成する第5工程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイ表示装置の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
引用特許:
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